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回收多晶硅铸锭炉+秦淮控制柜回收附近的电话
发布时间:2024-05-01 09:10:00
多晶硅铸锭炉秦淮控制柜附近的电话影响排气效果。所述气流导向装置的电极孔分别与该炉的电极柱密封连接,以防止因 该电极孔与电极柱之间的间隙而漏气,影响排气效果。所述气流导向装置的上端部的外壁与该炉的保温筒密封连接,以防止 因气流导向装置的上端部的外壁与该炉的保温筒之间的间隙而漏气,影响 排气效果所述气流导向装置各通气孔与该炉的排气口通过通气管相连通,以提 高排气效果。所述气流导向装置由石墨制成,石墨具有强度高,抗热震性好,耐高 温。与氩 气输入管12相连通的环形气体分布器11,其特征在于经氩气输入管12 输入的氩气气压为0. 8 x 103Pa0. 9 x 103Pa,氩气流量为30L/min。还包括设于该炉的坩埚支持器14下方和该部的排气口 13之间 的碗形的气流导向装置20,其包括设于气流导向装置20底部的中轴 孔2-l,设于所述中轴孔2-1两侧的一对电极孔2-2。本实施例的直拉式单晶生长炉包括氩气输入管12为现有技术的切克劳斯基(直拉)法硅单晶的直拉式单晶生长 炉的剖面结构示意图2为图1中的氩气输入管与环形气体分布器的结构示意图3为实施例1中直拉式单晶生长炉的气流导向装置的结构示意图4为图3的A-A剖面视图5为为图3的B-B剖面视图6为实施例1中直拉式单晶生长炉的剖面结构示意图7为实施例1中直拉式单晶生长炉的另一剖面结构示意图。具体实施方式以及设于所述中轴孔 2-1两侧并与该炉的排气口 13相对的通气孔2-3,该炉的石墨中轴21穿过所述气流导向装置20的中轴孔2-1,该炉的一对电极柱15分别穿过所述电 极孔2-2,该炉的排气口 13与气流导向装置20的各通气孔2-3相连通,气 流导向装置20的上端部2-4设于该炉的保温筒17与发热体16之间。
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