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泡生法的长晶过程有:装料、熔化料、引晶、扩肩、等径生长和收尾等过程,在这一系列过程中引晶阶段为关键,在引晶阶段,坩埚内Al2O3熔液处于沸腾阶段,熔液中的各种杂质不断挥发,遇到冷源,会贴附在上面,由于视镜玻璃温度较低,当打视镜挡板时,炉内的杂质粘附到视镜玻璃上,长时间使用视镜玻璃的清晰度会慢慢降低,不方面熔液颜色的观察,由于熔液不同颜色代表不同的温度,视镜被污染会直接影响观察人员的判断,导致引晶失败,使得后续工作无法完成。4、坩埚轴快速升降传动涡轮,要定期的打润滑孔在涡轮齿面上润锂基润滑脂一次,每次使用完毕后要检查波纹管是否有脏污
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单晶炉提拉速度控制系统的设计与分析1 引 言半导体材料是半导体工业的基础材料用提拉的法制成的。其中用量大和用途广泛的是半导体硅。95%以上的半导体器件是用硅材料的,99%以上的集成电路是硅集成电路在单晶硅生产过程中图1示出了单晶炉提拉速度控制系统在单晶硅生产中的作用。提拉杆的运动是靠驱动电机通过减速器在实际单晶炉中。要求提拉速度V能在(0.2~10.0)mm/h内无级调节,它相对于给定信号的线性精度±2%。设计了一种实用的单晶炉提拉速度控制系统,并在实际生产中获得成功应用。2 设计的关键图1示出了单晶炉提拉的工艺过程。提拉控制系统的驱动电机转速n经减速器。生长过程均速提拉的法制成的。分子泵,真空泵,真空流量计,plc编程,控制屏,离子泵,涡轮分子泵,螺杆真空泵,涡旋高真空泵,当电压恢复正常值,经延时后能自动接通电路、恢复供电,能有效保护电器在电源瞬间通电的冲击。所有功能全部自动化,无需专人操作,选用双色发光二级管指示,安全快捷。EC100小型断路器:工业配电系统,短路及过载保护。额定电流63A-12,额定短路分断能力高,具有短路限流结构。保护功能齐全,具有过载及短路保护装置,接线安全可靠,采用“框式”接线结构,功能扩展简便,安全可靠。可配多种附件:漏电脱扣器、辅助触头、报触头、分励脱扣器、欠压脱扣器、汇流排。EPD电涌保护器:EPD插拔式采用与固定式电涌保护相同的工作原理和选择准则。对间接雷电和直接雷响或其他瞬时过电压的电涌进行保护。EIC1交流接触器:主要用于交流50Hz或60Hz额定电压660V及以下,供远距离接通和分断电路之用,并可与相应规格的热继电器或电子保护器组电磁式或机电一体化的电动机起动器。